सब्सट्रेट:सीडीजीएम/शॉट
आयामी सहिष्णुता:-0.05मिमी
मोटाई सहनशीलता:±0.05मिमी
त्रिज्या सहनशीलता:±0.02मिमी
सतह की समतलता:1(0.5)@632.8nm
सतही गुणवत्ता:40/20
किनारे:आवश्यकतानुसार सुरक्षात्मक बेवल
साफ़ एपर्चर:90%
कोण सहिष्णुता:<5″
कलई करना:रब्स<0.5%@डिज़ाइन वेवलेंथ