सब्सट्रेट:बी270 /एन-बीके7 / एच-के9एल
आयामी सहिष्णुता:-0.1 मिमी
मोटाई सहनशीलता:±0.05मिमी
सतह की समतलता:3(1)@632.8एनएम
सतही गुणवत्ता:20/10
रेखा की चौडाई:न्यूनतम 0.003 मिमी
किनारे:ग्राउंड, 0.3 मिमी अधिकतम। पूरी चौड़ाई का बेवल
साफ़ एपर्चर:90%
समांतरता:<30"
कलई करना:सिंगल लेयर एमजीएफ2, रावग<1.5%@डिज़ाइन वेवलेंथ
रेखा/बिंदु/चित्रा: सीआर या सीआर2O3