सब्सट्रेट:सीडीजीएम/शॉट आयामी सहिष्णुता:-0.1 मिमी मोटाई सहनशीलता:±0.05मिमी सतह की समतलता:1(0.5)@632.8nm सतही गुणवत्ता:40/20 किनारे:ग्राउंड, 0.3 मिमी अधिकतम। पूरी चौड़ाई का बेवल साफ़ एपर्चर:90% कलई करना:रब्स<0.5%@डिज़ाइन वेवलेंथ
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