सब्सट्रेट:सीडीजीएम/शॉट
आयामी सहिष्णुता:±0.05मिमी
मोटाई सहनशीलता:±0.02मिमी
त्रिज्या सहनशीलता:±0.02मिमी
सतह की समतलता:1(0.5)@632.8nm
सतही गुणवत्ता:40/20
केन्द्रित करना:<5'(गोल आकार)
<1'(आयत)
किनारे:आवश्यकतानुसार सुरक्षात्मक बेवल
साफ़ एपर्चर:90%
कलई करना:आवश्यकतानुसार, डिज़ाइन तरंगदैर्घ्य:320~2000एनएम