सब्सट्रेट:बी270
आयामी सहिष्णुता: -0.1 मिमी
मोटाई सहनशीलता: ±0.05 मिमी
सतह की समतलता:1(0.5)@632.8एनएम
सतही गुणवत्ता: 40/20
रेखा की चौडाई:0.1 मिमी और 0.05 मिमी
किनारे:ग्राउंड, 0.3 मिमी अधिकतम। पूरी चौड़ाई का बेवल
साफ़ एपर्चर: 90%
समांतरता:<5”
कलई करना:T<0.5%@200-380nm,
टी>80%@410±3एनएम,
एफडब्ल्यूएचएम<6nm
टी<0.5%@425-510nm
माउंट:हाँ